Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2004 > № 26 > Белехов Я.С., Петров М.Н., Дроздов Ю.А. Сопоставление Фурье-и вейвлет-анализа в цифровой обработке топографического контраста дефектов полупроводниковых структур

Белехов Я.С., Петров М.Н., Дроздов Ю.А. Сопоставление Фурье-и вейвлет-анализа в цифровой обработке топографического контраста дефектов полупроводниковых структур

УДК 539.2 548.4 548.73 620.187
Б е л е х о в Я. С., П е т р о в М. Н., Д р о з д о в Ю. А. Сопоставление Фурье- и вейвлет-анализа в цифровой обработке топографического контраста дефектов полупроводниковых структур // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Техн. науки. 2004. № 26, стр. 145-151
Рассматривается применение компьютерной обработки для анализа и расшифровки топографических изображений дефектов в монокристаллах 6H-SiC. На примере обработки экспериментального контраста краевых дислокаций показана возможность уменьшения влияния зернистости фотоэмульсии и улучшения качества изображений дефектов. Проведено сравнение эффективности и информативности Фурье- и вейвлет-анализа.
Библиогр. 4 назв. Ил. 2.

Загрузить (507 КБ)