Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2008 > № 46 > Гаврушко В.В., Ионов А.С., Ласткин В.А., Стафеев Д.А., Швецов В.Н. Исследование ионно-диффузионных профилей легирования кремния донорами

Гаврушко В.В., Ионов А.С., Ласткин В.А., Стафеев Д.А., Швецов В.Н. Исследование ионно-диффузионных профилей легирования кремния донорами

УДК 621.315.592
Г а в р у ш к о В. В., И о н о в А. С., Л а с т к и н В. А., С т а ф е е в Д. А., Ш в е ц о в В. Н. Исследование ионно-диффузионных профилей легирования кремния донорами // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Техн. науки. 2008. № 46, стр. 41-43
Исследованы профили легирования кремния мышьяком после ионной имплантации. Для расчета коэффициента диффузии примеси был использован метод Больцмана—Матана. Применимость метода для мелко залегающих слоев кремния была проверена на примере анализа диффузионных слоев фосфора. Определены значения коэффициентов диффузии мышьяка. Установлено, что глубина слоя с повышенным значением коэффициента диффузии мышьяка в приповерхностной области, связанная с радиационно-ускоренной диффузией, по крайней мере в три раза превышает величину проецированного пробега.
Библиогр. 4 назв. Ил. 6.

Загрузить (473 КБ)