Вестник НовГУ

Вестник НовГУ > 2015 > №6 (89) > Кукушкин А.Е., Бичурин М.И., Татаренко А.С., Семенов Г.А. Применение МЭМС-технологий при разработке переменных СВЧ-аттенюаторов

Кукушкин А.Е., Бичурин М.И., Татаренко А.С., Семенов Г.А. Применение МЭМС-технологий при разработке переменных СВЧ-аттенюаторов

УДК 621.316.728
К у к у ш к и н А. Е., Б и ч у р и н М. И., Т а т а р е н к о А. С., С е м е н о в Г. А. Применение МЭМС-технологий при разработке переменных СВЧ-аттенюаторов // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Физико-математические науки. 2015. № 6 (89). С.77–81. Библиогр. 7 назв.

К л ю ч е в ы е с л о в а: аттенюатор; МЭМС; моделирование; переменный МЭМС-аттенюатор

Представлены результаты исследований микроэлектромеханических систем в диапазоне СВЧ. Показаны принципы применения МЭМС-технологий при разработке переменных СВЧ-аттенюаторов.
-----------------------------------------------------------------------------
UDC 621.316.728
K u k u s h k i n A. E., B i c h u r i n M. I., T a t a r e n k o A. S., S e m e n o v G. A. MEMS technology application for designing microwave variable ttenuators // Vestnik NovSU. Issue: Physico-Mathematical Sciences. 2015. № 6 (89). P.77–81. The reference list 7 items.

K e y w o r d s: attenuator, MEMS, modeling, MEMS variable attenuator

This article presents the research results concerning microelectromechanical systems in the microwave region. The principles of MEMS technology application for designing microwave variable attenuators are shown.

Загрузить (1646 КБ)