Вестник НовГУ > 2015 > №6 (89) > Кукушкин А.Е., Бичурин М.И., Татаренко А.С., Семенов Г.А. Применение МЭМС-технологий при разработке переменных СВЧ-аттенюаторов
УДК 621.316.728
К у к у ш к и н А. Е., Б и ч у р и н М. И., Т а т а р е н к о А. С., С е м е н о в Г. А. Применение МЭМС-технологий при разработке переменных СВЧ-аттенюаторов // Вестн. Новг. гос. ун-та. Сер.: Физико-математические науки. 2015. № 6 (89). С.77–81. Библиогр. 7 назв.
К л ю ч е в ы е с л о в а: аттенюатор; МЭМС; моделирование; переменный МЭМС-аттенюатор
Представлены результаты исследований микроэлектромеханических систем в диапазоне СВЧ. Показаны принципы применения МЭМС-технологий при разработке переменных СВЧ-аттенюаторов.
-----------------------------------------------------------------------------
UDC 621.316.728
K u k u s h k i n A. E., B i c h u r i n M. I., T a t a r e n k o A. S., S e m e n o v G. A. MEMS technology application for designing microwave variable ttenuators // Vestnik NovSU. Issue: Physico-Mathematical Sciences. 2015. № 6 (89). P.77–81. The reference list 7 items.
K e y w o r d s: attenuator, MEMS, modeling, MEMS variable attenuator
This article presents the research results concerning microelectromechanical systems in the microwave region. The principles of MEMS technology application for designing microwave variable attenuators are shown.